【超清版】 GB/T 44759-2024 高纯镍靶材

ICS 77.150.40
CCS H 62
中华人民共和国国家标准
GB/T 44759—2024
高纯镍靶材
High purity nickel target
2024-10-26 发布2025-05-01 实施
国家市场监督管理总局
国家标准化管理委员会发 布

前　　言
本文件按照GB/T 1.1—2020《标准化工作导则　第1 部分：标准化文件的结构和起草规则》的规
定起草。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。
本文件由中国有色金属工业协会提出。
本文件由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC 243）归口。
本文件起草单位：宁波江丰电子材料股份有限公司、金川集团股份有限公司、有研亿金新材料有限
公司、上海同创普润新材料有限公司、南京达迈科技实业股份有限公司。
本文件主要起草人：姚力军、边逸军、廖培君、胡家彦、杨慧珍、王学泽、周友平、杨晓艳、
汤婷、吴东青、张亚东、朱孜毅、吴宇宁、干科军、钟成铭、黄引驰、时晓旭。

1　范围
本文件规定了高纯镍靶材的分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及随
行文件和订货单内容。
本文件适用于半导体行业用的高纯镍靶材。
2　规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文
件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用
于本文件。
GB/T 1031　产品几何技术规范（GPS） 表面结构　轮廓法　表面粗糙度参数及其数值
GB/T 6394　金属平均晶粒度测定方法
GB/T 8651　金属板材超声板波探伤方法
GB/T 14265　金属材料中氢、氧、氮、碳和硫分析方法通则
GB/T 25915.1—2021　洁净室及相关受控环境　第1 部分：按粒子浓度划分空气洁净度等级
GB/T 39159　集成电路用高纯铜合金靶材
YS/T 837　溅射靶材﹘背板结合质量超声波检验方法
YS/T 1012　高纯镍化学分析方法　杂质元素含量的测定　辉光放电质谱法
3　术语和定义
GB/T 39159 界定的术语和定义适用于本文件。
4　分类
4.1　产品按外形分为圆形和方形，或由需方提供图纸。
4.2　产品按化学成分分为Ni4N、Ni4N5、Ni5N 三个牌号。
4.3　产品按结构形式分为复合体靶材和单体靶材，结构示意图如图1 所示。
a）　复合体靶材 　　　　　　　　　　　　　　b）　单体靶材
标引序号说明：
1─靶坯；
2─背板。
图1 靶材结构示意图
5　技术要求
5.1　化学成分
产品的化学成分应符合表1 和表2 的规定。
GB/T 44759—2024
1
表1　化学成分
牌号
镍含量
（质量分
数）a/%，
不小于
杂质含量（质量分数）×10-4/% ，不大于
Al As Au Ag Bi Ca Cd Co Cr Cu Fe Mg Mn Na K Li P Pb Sb Si Sn Ti V Zn
Ni4N 99.99 20 20 5 5 5 10 5 50 50 40 50 10 10 5 5 5 5 5 3 10 10 20 20 10
Ni4N5 99.995 5 5 2 2 2 5 2 20 15 20 20 1 1 1 1 1 1 1 1 5 5 10 10 5
Ni5N 99.999 2 1 1 1 1 1 1 3 3 2 10 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 3 1 2
注：需方对元素有特殊要求的，由供需双方协商，并在订货单中注明。
a 镍含量为100%减去表中杂质含量实测总和的余量。
表2　C、N、O、H 和S 含量
牌号
C、N、O、H和S含量（质量分数）×10-4/%，不大于
C N O H S
Ni4N 100 10 50 5 20
Ni4N5 50 10 30 5 20
Ni5N 30 5 20 5 5
GB/T 44759—2024
2
5.2　晶粒尺寸
产品的晶粒平均尺寸应不大于100 μm，最大值不大于150 μm。需方如有特殊要求时，由供需双方
协商确定，并在订货单中注明。
5.3　内部质量
产品内部不应有分层、夹杂、疏松和气孔等缺陷。需方如有特殊要求时，由供需双方协商确定，并
在订货单中注明。
5.4　焊接质量
复合体靶材的焊接质量应符合表3 的规定。需方如有特殊要求时，由供需双方协商确定，并在订货
单中注明。
表3　焊接质量要求
焊接方式焊接结合率单个未焊合面积占总面积的百分比
钎焊≥97% ≤2.5%
5.5　外形尺寸及允许偏差
产品的平面度应不大于0.1 mm。其他外形尺寸及允许偏差由供需双方协商确定，并在订货单中
注明。
5.6　表面粗糙度
产品表面粗糙度（Ra）值应不大于1.6 μm，需方如有特殊要求，由供需双方协商确定，并在订货单
中注明。
5.7　外观质量
产品表面应清洁光滑，无指痕、油污和锈蚀，无颗粒附加物和其他沾污，无凹坑、划伤、裂纹、凸
起等缺陷。
6　试验方法
6.1　化学成分
6.1.1　金属杂质元素的分析方法按照YS/T 1012 的规定进行。
6.1.2　C、H、O、N 和S 的分析方法按照GB/T 14265 的规定进行。
6.2　晶粒尺寸
产品的晶粒尺寸检验按照GB/T 6394 的规定进行。
6.3　内部质量
产品的内部质量检验按照GB/T 8651 的规定进行。
GB/T 44759—2024
3
6.4　焊接质量
产品的焊接质量检验按照YS/T 837 的规定进行。
6.5　外形尺寸及允许偏差
产品的外形尺寸通过三坐标测量仪、卡尺等测量。
6.6　表面粗糙度
产品的表面粗糙度检验通过目视或使用粗糙度测量仪按照GB/T 1031 的规定进行，或按照供需双方
约定的方法测定。
6.7　外观质量
产品的外观质量目视检查，如发现异常现象，用放大镜或显微镜进行鉴别。
7　检验规则
7.1　检查和验收
7.1.1　产品由供方或第三方进行检验，产品质量应符合本文件及订货单的规定。
7.1.2　需方可对收到的产品进行检验。如检验结果与本文件或订货单的规定不符时，应以书面形式向供
方提出，由供需双方协商解决。属于外观质量的异议，应在收到产品之日起1 个月内提出；属于其他性
能的异议，应在收到产品之日起3 个月内提出。如需仲裁，应由供需双方协商确定。
7.2　组批
产品应成批提交验收。每批应由同一生产周期、同一牌号和规格的产品组成。
7.3　检验项目
每批产品均应进行化学成分、晶粒尺寸、内部质量、焊接质量、外形尺寸及允许偏差、表面粗糙
度、外观质量的检验。
7.4　取样
7.4.1　产品的取样应符合表4 的规定。
表4　检测项目、取样位置及数量
检验项目取样规定取样数量
技术要求的
章条编号
试验方法的
章条编号
化学成分
供方：铸锭端头
需方：成品
每批任取1件，每件取
2个试样
5.1 6.1
晶粒尺寸
供方：靶坯边料
需方：成品
取样位置见图1
每批任取1件，每件取
2个试样
5.2 6.2
内部质量焊接前逐件5.3 6.3
焊接质量焊接后逐件5.4 6.4
外形尺寸及允许偏差成品逐件5.5 6.5
GB/T 44759—2024
4
表4　检测项目、取样位置及数量（续）
检验项目取样规定取样数量
技术要求的
章条编号
试验方法的
章条编号
表面粗糙度成品逐件5.6 6.6
外观质量成品逐件5.7 6.7
7.4.2　晶粒尺寸检验在靶坯或成品边缘位置进行取样，圆形样品间隔1/4 圆弧长，方形样品取任意短对
边距的对边，如图2 所示。
标引序号说明：
1、2─圆形样品取样位置，两个位置间隔1/4 圆弧长；
3、4─方形样品取样位置，两个位置取在任意短对边距的对边。
图2　取样位置示意图
7.5　检验结果的判定
7.5.1　靶材的化学成分不合格时，则判定该批产品不合格。
7.5.2　靶材的晶粒尺寸抽检不合格时，允许从同批产品中加倍抽样进行复检（包括原检验不合格的那件
样品），若复检仍有任一试样不合格，则判定该批产品不合格。
7.5.3　靶材的内部质量、焊接质量、外形尺寸及允许偏差、表面粗糙度、外观质量检验不合格时，判定
该件产品不合格。
8　标志、包装、运输、贮存及随行文件
8.1　标志
8.1.1　应在检验合格的产品上，将供方名称、牌号及生产批号刻在产品指定位置。
8.1.2　在每个外包装上贴纸质标贴，内容应包括：
a） 供方名称；
b） 产品名称；
c） 牌号；
d） 生产批号；
e） 出厂日期；
f） 其他。
GB/T 44759—2024
5
8.2　包装、运输、贮存
8.2.1　产品的清洗、干燥及内包装应在GB/T 25915.1—2021 中ISO 5 级的洁净室内进行。产品应经过
全面清洗，真空干燥后每件单独真空包装，真空袋封口应平整，真空袋无真空泄露。
8.2.2　外包装应采用纸盒或中空盒包装。包装盒内应有防碰撞措施。将随行文件用塑封袋装好后粘贴于
包装盒上。
8.2.3　包装后的产品应保存于清洁的环境中。
8.2.4　运输及贮存过程中，应注意防震、防潮、防压、防止二次污染。
8.3　随行文件
每批产品应附有随行文件，其中除应包括供方信息、产品信息、出厂日期或包装日期外，还宜至少
包括：
a） 产品合格证（检验项目及其结果或检验结论、批号、检验日期和检验员签名或盖章）；
b） 产品使用说明：正确搬运、使用、贮存方法等；
c） 其他。
9　订货单内容
需方可根据自身的需要，在订购本文件所列产品的订货单内，列出以下内容：
a） 产品名称；
b） 牌号；
c） 需方的特殊要求（晶粒尺寸、内部质量、焊接质量、外形尺寸及允许偏差、表面粗糙度）；
d） 数量；
e） 本文件编号；
f） 其他。
—
GB/T 44759—2024
6